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谱量光电研发制造的精密气浮隔振光学平台，能够满足精密负载对振动隔离需求。上面板采用优质高导磁SUS430不锈钢，台面内核为三层夹心式蜂窝结构，内核密度大幅度提高，具有优秀的硬重比和刚性，同时保证了较低的固有频率，具备行业较高的隔振效果。上台面采用精密磨削工艺，平面度可达≤0.05mm/㎡，表面粗糙度<0.6um，回旋打磨工艺清除毛边，达到无反射、哑光效果，面板具有M6阵列螺孔，易于固定光学元件。气浮支架采用整体焊接工艺（四支撑或六支撑结构），半膜片式空气弹簧，采用进口三水平调节阀技术，反应灵敏，响应迅速，在超载偏重的实验条件下，能瞬间恢复初始的平衡状态。支撑腿内部为二级气室结构，气室间带有阻尼孔，气动元件全部采用德国FESTO产品，标配优质大功率压缩机，整体结构保证平台有较高的稳定性。
技术优势
台面整体采用三层夹心结构，上台面为410铁磁不锈钢；
精密气浮隔振光学平台中心为蜂窝/井字钢支撑结构，底板为碳钢，在保证隔振性能得同时，提高了刚性、稳定性，台面精磨；
气浮支架采用囊式空气弹簧，每个支撑腿配备由单独气室；
采用整体焊接四支撑结构，下方为阻尼隔振垫，隔振性能好；
气浮支架底部带有高度调节功能，可以解决地面不平引起的支架扭曲、变形等情况；
采用原装德国FESTO空气伺服系统,自动调整水平；瞬间达到初始的平衡状态,提高光学隔振平台的隔振效果；
标配静音空气压缩机，工作压力为0.35～0.6Mpa，标准配置调压过滤阀将保证空气弹簧的长期有效工作；
水平方式：自动充气，自动平衡；
隔振方式：囊式空气弹簧。
精密气浮隔振光学平台
http://www.plcts.cn/SonList-2409497.html
https://www.chem17.com/st559849/erlist_2409497.html
精密气浮隔振光学平台